前言：
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专利摘要显示，本申请公开了一种衍射光栅检测装置以及检测方法。该检测装置包括：光源、分光镜、可调光栅承载台、探测器模组以及控制器。其中，光源用于产生入射光。分光镜用于反射入射光以形成第一光路，并透射入射光以形成第二光路。可调光栅承载台设置于第二光路上。探测器模组设置于入射光经由分光镜出射的光路上；包括驱动件以及至少一个光探测器。控制器电性连接于光探测器，并被配置为：基于入射光的波长及待检测光栅的空间位置，计算待检测光栅的光栅周期；基于第一光线的光强和第二光线的光强，计算待检测光栅的衍射效率。本申请中的衍射光栅检测装置同时具备测量光栅周期和衍射效率的功能，使得待检测光栅的检测过程更加便捷和高效。
本文源自金融界
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