一、干式液氮温区探针台

产品特点

1. 真空腔体：真空度优千6X 10-4 Pa。降温后优千6X10-5Pa。留有2个用户法兰接口(KF40可接入气体或者额外的电缆）；

2.探针控制：标配6个探针臂。调节范围110mm*50mm*30mm, 调节精度优千10um。每个探针臂配 备一根Tri ax三同轴低漏电线缆及探针。样品台底座配备额外一根Tri ax三同轴低漏电线缆；

3.显微镜模块：连续变倍单筒显微镜， 光学放大倍率：0.5X~3. 75X （使用0. 75X附加物镜时，视频放大倍率约700倍。可选2X附加物镜。分辨率优千2um。全高清数字摄像头， 带同 轴照明和环形照明， 带机械调焦和光学调焦；

4. 变温样品台：直径标配50mm, 选配最大150mm。变温范围：6K~400K。控温稳定性优千土1.01 K;

5. 可选配接入光纤， 可将一根或几根电学探针替换为光纤

6. 系统直流漏电低于1pA;

7. 产品含进口分子泵机组、 全量程真空规和智能温控仪。

二、低温液氮探针台

产品特征

1. 真空腔体：真空度优于6X 10-4Pa。降温后优于6X10-5Pa。留有2个用户法兰接口（可接入气体或者额外的电缆）；

2. 探针控制：标配4个探针臂。调节范围50mm*50mm*30mm, 调节精度优千10um。每个探针臂配备Triax三同轴低漏电线缆及探针。样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆。

3.显微镜模块：连续变倍单筒显微镜， 光学放大倍率：0.5X~3.75X（使用0. 75X附加物镜时），视频放大倍率约700倍。可选2X附加物镜。分辨率优千2um。全高清数字摄像头， 带同轴照明和环形照明，带机械调焦和光学调焦。

4.变温样品台：50mm直径。变温范围：80K~400K。控温稳定性优于土0. 01 K;

5. 可选配接入光纤， 可将一根或几根电学探针替换为光纤；

6. 系统直流漏电低千1pA。

7.产品含进口分子泵机组、 全量程真空规和智能温控仪。

三、室温自动探针台

室温自动探针台是高可靠性探针台系统，主要应用在半导体／微电子， 电子， 机电， 物理， 化学， 材料， 光电， 纳米， 微机电／MEMs, 生物芯片， 航空航天等科学研究领域，以及IC设计／制造／测试／封装、LED、 LCD/OLED、 LD/PD、 PCB、 FPC等生产制造领域。

旨在预算与高测量可靠性之间寻求平衡点， 该平台配备高精度位移台， 可实现X、 Y、 Z、 R等方向自动调整， 各移动轴可实现土0. 005mm以下的精度定位， 对阵列型测量特征可实现快速准确的测量。经济实用， 稳定性强， 可升级扩展， 操作方便是本产品的核心价值， 在各大高校、 研究所及半导体行业应用广泛。

产品特征

1. 标配4个探针臂， 可提供4-8个探针臂。调节范围50mm*50mm*30mm,调节精度优于5um。每个探针臂配备一根Tri ax三同轴低漏电线缆及探针。样品台底座配备额外一根Tri ax三同轴低漏电线缆；

2. 显微镜模块：连续变倍单筒显微镜， 光学放大倍率：0.5X~5.0X（使用1X附加物 镜时），视频放大倍率约700倍。可选2X附加物镜。分辨率优于2um。全高清数字摄像头， 带同轴照明和环形照明， 带机械调焦和光学调焦

3. 样品座采用电机驱动， 可实现快速千目镜下寻找样品， 调节范围：

100mm*100mm*15mm＊ 士180°。

四、液氮恒温器

超低震动干式液氮光学低温恒温器系统，使用气体导热隔震， 实现样品台纳米级的机械稳定性。为有效降低环境震动影响， 产品设计安装在光学隔震平台上。超低震动干式液氮光学低温恒温器系统使用氮气交换冷却样品， 样品处最低温度可达4. 2K, 最高温度可达373. OK。另外设计调节支架，既满足冷头的支撑，同时可以调节冷头的具体高度， 以方便使用。高度定制化的服务， 更是满足客户多元化的需求。