天准科技(688003)09月12日在投资者关系平台上答复了投资者关心的问题。

投资者：公司的半导体检测设备可用于华为手机星闪芯片的检测吗？

天准科技董秘：您好，感谢对公司的关注。天准科技参股的苏州矽行半导体覆盖65-90nm节点的明场缺陷检测设备正式交付客户试用，28nm节点检测设备正在研发中。

投资者：了解到公司孙公司MueTec是在半导体宏观检测领域、参股联营的的苏州矽行在半导体检测微观领域企业，查询公司网站公司产品在半导体领域包含掩模测量，请问贵公司或子公司等在半导体光刻领域有何技术储备和建树？谢谢

天准科技董秘：您好，感谢对公司的关注。天准子公司MueTec专注于半导体前道晶圆量测设备，主要产品包括套刻误差量测设备、掩模版量测检测设备、半导体晶圆红外量测检测设备等；天准参股公司矽行半导体专注于半导体前道晶圆的微观缺陷检测设备，尚未涉足半导体其它设备。

投资者：公司的自动驾驶设备和软件开发从理论上可以接入华为鸿蒙系统吗？如果可以希望公司有这个备案！

天准科技董秘：您好，感谢对公司的关注。从理论上讲，天准的域控制器可以接入华为的鸿蒙系统。

投资者：目前国家成立半导体大基金三期，基金参与的公司不仅能给公司带来研发资金，也会给公司的技术带来信誉背书，同时能带来产业上的结合，希望徐总三思能与产业基金合作，这个时代合作才能共赢。

天准科技董秘：您好，感谢对公司的关注。也感谢您的建议。

投资者：公司提供给外国公司设备，成交金额是美元还是人民币？

天准科技董秘：您好，感谢对公司的关注。公司在进口原材料、出口产品时主要使用美元结算。

投资者：公司之前提到过已有光刻对准检验机产品并中标过上海新微半导体采购项目，请问光刻对准检验机载半导体光刻各流程环节中起什么作用？国产替代前景如何？谢谢

天准科技董秘：您好，感谢对公司的关注。MueTec于2021年中标上海新微套刻误差量测设备。套刻（Overlay）误差量测设备主要用于量测半导体制造工艺中前后叠层之间对准的套刻误差，MueTec的套刻（Overlay）误差量测设备可覆盖65-90nm工艺节点，目前公司苏州团队和MueTec团队正在合作开发更先进制程的套刻误差量测设备。

投资者：请问公司和华为有没有研发、业务合作等。

天准科技董秘：您好，感谢对公司的关注。天准科技为国内头部手机品牌，提供视觉量测、检测设备。

投资者：公司之前回复Muetec正在积极推进overlay产品的研发，overlay在芯片制造工艺中是非常重要的一环，可否介绍一下overlay在芯片制造中的作用以及您家设备在此领域的发展现状？

天准科技董秘：您好，感谢对公司的关注。套刻（Overlay）误差量测设备主要用于量测半导体制造工艺中前后叠层之间对准的套刻误差，MueTec的套刻（Overlay）误差量测设备可覆盖65-90nm工艺节点，目前公司苏州团队和MueTec团队正在合作开发更先进制程的套刻误差量测设备。

投资者：目前涉及域控制器的公司挺多，请问公司的有什么优势？技术上有多大领先？

天准科技董秘：您好，感谢对公司的关注。在非车规域控制器领域，天准科技从2018年开始将机器视觉技术应用到了无人物流车领域，实现了低速无人车辆的自主驾驶，应用于无人化的货物运输、电商订单配送等，当时主要客户是菜鸟物流。在此基础上，经过几年的深耕，围绕着智能驾驶域控制器核心产品，形成了包括远程驾驶、数据采集、数据回灌、多传感器联合标定、车路协同等产品和方案在内的一套完整的开发工具链，建立起了硬件设计、底软和中间件开发、算法部署和优化等全面的技术能力，联合数十家主流传感器、通讯、云平台等领域的合作伙伴，服务了国内外100余家主要的L4智能驾驶客户，覆盖了Robotaxi、Robobus、Robotruck、工程车辆、低速无人配送车、清扫车等各种智能驾驶应用场景。在车规级域控制器领域通过与地平线的合作，可以使已有业务进一步深化发展，天准科技是一家以机器视觉为核心技术的公司，在机器视觉的底层算法、行业应用方面有多年的积累，在地平线的平台之上，能够充分发挥天准在AI领域的技术价值。

投资者：公司的pcb设备可以用于5G，6G吗？

天准科技董秘：您好，感谢对公司的关注。公司的LDI设备主要应用于PCB、FPC、IC载板等领域的线路层、防焊层等工艺段的制备，精度最高可达4-6微米。

投资者：公司有产品应用于光刻机产业链吗？谢谢

天准科技董秘：您好，感谢对公司的关注。天准全资子公司Muetec专注于半导体前道晶圆量测设备，主要产品包括套刻误差量测设备、掩模版量测检测设备、半导体晶圆红外量测检测设备等；天准参股的苏州矽行半导体专注于半导体前道晶圆检测设备。

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