扫描电镜一个突出的特点就是对样品的适应性大，所有的固态样品，无论是块状的、粉末的、金属的、非金属的、有机的、无机的都可以观察。而且样品的制备比较简单，但仍需要一定的技术要求，否则就不能得到满意的结果。一般扫描电镜对样品的要求主要有：适当的大小和良好的导电性。

扫描电镜景深长，样品室大，故样品尺寸可变化范围大，试样的大小和重量适合电镜样品室的要求即可。扫描电镜要求试样必须具有良好的导电性，这就要求样品表面与样品台之间要导电。对于导电性好的金属样品，只要用导电胶或导电胶带固定在铝或铜的样品架上送入电镜样品室便可直接观察。而对不导电或导电性差的无机非金属材料、高分子材料等样品，所要观察的表面必须进行导电处理。一般采用真空蒸镀膜或离子溅射膜的方法，使用热传导良好而且二次电子发射率高的Au、Ag、Cu、Al或碳作导电层。膜的厚度控制，原则是在保证导电性良好的前提下越薄越好，一般控制在5~20nm。对于具有低真空或低电压功能的SEM或场发射扫描电镜，不导电的样品可以在低真空或低电压下直接观察，无需进行喷镀处理。

无论哪种试样，其待观察表面要真实，避免磕碰、擦伤造成的假象；要干净、干燥，否则，表面污染或试样潮湿有可能导致样品导电性不好，无法观察。